工業氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)在 標準《常用危險化學(xue)品的分(fen)類(lei)及(ji)標志》(GB13690-1992)中，通常被(bei)劃為第2類(lei)壓(ya)(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)和液(ye)化氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)。 這類(lei)化學(xue)品系指壓(ya)(ya)縮(suo)、液(ye)化或(huo)加壓(ya)(ya)溶(rong)(rong)解的氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)。氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)經加壓(ya)(ya)或(huo)降低溫(wen)度，可以使(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)分(fen)子(zi)間的距(ju)離大大縮(suo)小而被(bei)壓(ya)(ya)入鋼瓶中，這種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)稱(cheng)為壓(ya)(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(亦稱(cheng)為 氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)， 如氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氬(ya)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氫氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等)。對壓(ya)(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)繼續加壓(ya)(ya)， 適當降溫(wen)，壓(ya)(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)就會變成液(ye)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)的，稱(cheng)為液(ye)化氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(如液(ye)氯、 液(ye)氨、液(ye)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)二氧(yang)化碳等)。此外，還有(you)一種性質極為不穩定的氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)，加壓(ya)(ya)后需溶(rong)(rong)于溶(rong)(rong)劑(ji)中儲存(cun)在鋼瓶內，這種氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)稱(cheng)為溶(rong)(rong)解氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(如溶(rong)(rong)解乙炔等)

　　具體來(lai)說工業氣(qi)體可分為(wei)以下14種：

　　4. 外(wai)延(yan)(yan)(yan)氣(qi)體(Cpitaxial gases) ：在仔(zi)細選擇的(de)襯底上采用(yong)化(hua)學氣(qi)相淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji)(CVD) 的(de)方法生(sheng)長(chang)(chang)一(yi)層或多(duo)層材料所用(yong)氣(qi)體稱為外(wai)延(yan)(yan)(yan)氣(qi)體。硅(gui)(gui)(gui)外(wai)延(yan)(yan)(yan)氣(qi)體有4 種(zhong), 即硅(gui)(gui)(gui)烷、二(er)(er)氯二(er)(er)氫硅(gui)(gui)(gui)、三氯氫硅(gui)(gui)(gui)和四氯化(hua)硅(gui)(gui)(gui), 主要用(yong)于外(wai)延(yan)(yan)(yan)硅(gui)(gui)(gui)淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji), 多(duo)晶(jing)硅(gui)(gui)(gui)淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji), 淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji)氧化(hua)硅(gui)(gui)(gui)膜, 淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji)氮化(hua)硅(gui)(gui)(gui)膜, 太(tai)陽電池(chi)和其他(ta)光感受器的(de)非(fei)晶(jing)硅(gui)(gui)(gui)膜淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji)。外(wai)延(yan)(yan)(yan)生(sheng)長(chang)(chang)是一(yi)種(zhong)單(dan)晶(jing)材料淀(dian)(dian)積(ji)(ji)(ji)并生(sheng)長(chang)(chang)在襯底表面上的(de)過(guo)程。此(ci)外(wai)延(yan)(yan)(yan)層的(de)電阻率往往與襯底不同。

　　5. 蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)氣(qi)體(Etching gases) ：蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)就是(shi)把(ba)基片(pian)(pian)上無(wu)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠掩(yan)蔽的加(jia)工表面(mian)如氧化硅膜、金屬膜等蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)掉, 而使有光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠掩(yan)蔽的區(qu)域保存(cun)下來, 這樣(yang)便(bian)在基片(pian)(pian)表面(mian)得到所需(xu)要(yao)的成像圖(tu)形。蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)的基本要(yao)求(qiu)是(shi), 圖(tu)形邊緣整齊, 線條清晰, 圖(tu)形變換(huan)差小, 且對光(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠膜及其掩(yan)蔽保護的表面(mian)無(wu)損傷(shang)和鉆蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)。蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)方式有濕法(fa)化學(xue)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)和干法(fa)化學(xue)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)。干法(fa)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)所用氣(qi)體稱蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)氣(qi)體, 通常(chang)多為氟(fu)化物氣(qi)體, 例(li)如四氟(fu)化碳、三(san)氟(fu)化氮、六氟(fu)乙烷、全氟(fu)丙(bing)烷、三(san)氟(fu)甲(jia)烷等。干法(fa)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)由于蝕(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)(ke)(ke)方向性強、工藝控制 、方便(bian)、無(wu)脫(tuo)膠現象、無(wu)基片(pian)(pian)損傷(shang)和沾污, 所以其應用范圍日益(yi)廣泛(fan)。

　　6. 摻雜(za)(za)氣(qi)體(ti)(Dopant Gases)：在半導體(ti)器(qi)件(jian)和(he)(he)集成(cheng)電(dian)路制造中, 將(jiang)某(mou)(mou)種或(huo)某(mou)(mou)些雜(za)(za)質摻入(ru)半導體(ti)材料內(nei), 以使材料具有所需要的導電(dian)類型和(he)(he)一定的電(dian)阻(zu)率(lv), 用來制造PN結(jie)、電(dian)阻(zu)、埋層等。摻雜(za)(za)工(gong)藝所用的氣(qi)體(ti)摻雜(za)(za)源(yuan)被稱為摻雜(za)(za)氣(qi)體(ti)。主(zhu)要包括(kuo)砷(shen)烷、磷(lin)烷、三氟(fu)化(hua)(hua)磷(lin)、五氟(fu)化(hua)(hua)磷(lin)、三氟(fu)化(hua)(hua)砷(shen)、五氟(fu)化(hua)(hua)砷(shen)、三氯化(hua)(hua)硼(peng)和(he)(he)乙硼(peng)烷等。通常將(jiang)摻雜(za)(za)源(yuan)與運載氣(qi)體(ti)(如氬氣(qi)和(he)(he)氮(dan)氣(qi)) 在源(yuan)柜中混(hun)合, 混(hun)合后氣(qi)流連續流入(ru)擴(kuo)散爐內(nei)環繞晶(jing)片(pian)四(si)周, 在晶(jing)片(pian)表面沉(chen)積上化(hua)(hua)合物(wu)摻雜(za)(za)劑, 進而(er)與硅反(fan)應生成(cheng)摻雜(za)(za)金屬而(er)徙動進入(ru)硅。

　　7. 熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)(Sterilizing Gases) ：具有殺(sha)菌(jun)(jun)作用的(de)(de)氣(qi)體(ti)稱熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)。常(chang)用的(de)(de)氣(qi)體(ti)品種有環(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)烷、磷(lin)烷、溴(xiu)甲烷、溴(xiu)甲醛(quan)、環(huan)(huan)氧(yang)丙(bing)烷等。其滅菌(jun)(jun)原(yuan)理是利(li)(li)用烷化作用, 使(shi)(shi)微生物(wu)組織內維(wei)持生命不可(ke)缺少的(de)(de)物(wu)質惰化。最(zui)經(jing)常(chang)使(shi)(shi)用的(de)(de)是以(yi)(yi)不同(tong)比例配制的(de)(de)環(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)烷和二氧(yang)化碳的(de)(de)混合(he)氣(qi), 根(gen)據用途不同(tong), 環(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)烷的(de)(de)含(han)量可(ke)以(yi)(yi)是10%、20%和30%等。也可(ke)采用環(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)烷和氟(fu)(fu)利(li)(li)昂(ang)12的(de)(de)混合(he)氣(qi),環(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)烷與氟(fu)(fu)利(li)(li)昂(ang)11和氟(fu)(fu)利(li)(li)昂(ang)12的(de)(de)混合(he)氣(qi)等。殺(sha)菌(jun)(jun)效果與各組分濃度、溫度、濕度、時(shi)間和壓(ya)力等因(yin)素有關(guan)。熏(xun)蒸氣(qi)體(ti)可(ke)以(yi)(yi)用于衛生材料、醫療器(qi)具、化妝品原(yuan)料、動物(wu)飼(si)料、糧食、紙鈔(chao)、香辣