又稱為(wei)砷化氫、砷化三氫、甲(jia)鍺烷、是(shi)一種有(you)毒、易燃的氣體(化學式(shi):AsH3)
砷烷(wan)是一種溶血性(xing)毒物,可(ke)中(zhong)(zhong)毒神經。 用(yong) 途: 砷烷(wan)用(yong)于半導體工業中(zhong)(zhong)外延硅(gui)的“N”型摻雜,硅(gui)中(zhong)(zhong)“N”型擴散,離子(zi)注入(ru),生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元(yuan)素形成的化合物半導體。 工業上生產的砷烷(wan)用(yong)于有機合成,同時應用(yong)在太陽(yang)能(neng)光伏行業、集成電路等。